?精密電子廠無塵室有一級(jí)、十級(jí)、百級(jí)、千級(jí)、萬級(jí)、十萬級(jí)、三十萬級(jí)之分，在精密電子廠凈化裝修設(shè)計(jì)應(yīng)根據(jù)在滿足電子產(chǎn)品生產(chǎn)要求的前提下合理進(jìn)行無塵室廠房的裝修工程生產(chǎn)設(shè)備布局，合理確定各種公用動(dòng)力設(shè)施的技術(shù)參數(shù)，做到能量消耗少、運(yùn)行費(fèi)用低、生產(chǎn)效率高和建設(shè)投資。同時(shí)還需要合理進(jìn)行人流路線、物料運(yùn)輸和倉儲(chǔ)設(shè)施的配置和布置，滿足電子產(chǎn)品無塵室廠房的裝修工程生產(chǎn)要求和產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求。此外還應(yīng)該盡可能提升生產(chǎn)設(shè)備的自動(dòng)化水平和物料運(yùn)輸?shù)淖詣?dòng)化水平，在經(jīng)濟(jì)、實(shí)用、安全可靠的條件下提高生產(chǎn)效率。?
1-1、人員凈化：凈化程序宜按下圖布置
1-2、潔凈室入口宜設(shè)空氣吹淋室。當(dāng)不設(shè)空氣吹淋室時(shí)，應(yīng)設(shè)氣閘室；
1-3、單人空氣吹淋室，應(yīng)按較大班人數(shù)30人設(shè)一臺(tái)。潔凈室人員超過5人時(shí)，空氣吹淋室一側(cè)應(yīng)設(shè)單向旁通門；
1-4、空氣吹淋室的進(jìn)、出門不得同時(shí)開啟，應(yīng)采取連鎖控制措施；
1-5、空氣潔凈度等級(jí)為5級(jí)或嚴(yán)于5級(jí)的垂直單向流潔凈室，宜設(shè)氣閘室。
2--1、潔凈室內(nèi)的設(shè)備和物料出入口，應(yīng)獨(dú)立設(shè)置，并應(yīng)根據(jù)設(shè)備和物料的特征、性質(zhì)、形狀等設(shè)置凈化用室及相應(yīng)的物凈設(shè)施。
2-2、物料凈化用室與潔凈室之間應(yīng)設(shè)置氣閘室或傳遞窗。
3-1、不同等級(jí)的潔凈室之間的靜壓差應(yīng)大于等于5Pa；
3-2、潔凈室與非潔凈室之間的靜壓差應(yīng)大于5Pa；
3-3、潔凈室與室外的靜壓差應(yīng)大于10Pa。
3-4、根據(jù)生產(chǎn)要求需設(shè)計(jì)相應(yīng)防靜電設(shè)施
溫濕度要求：，相對(duì)濕度為55+5%。
新風(fēng)量大：由于這類凈化無塵車間內(nèi)人員比較多，可以根據(jù)以下數(shù)值應(yīng)取下列的較大值：非單向流凈化無塵室車間總送風(fēng)量的10-30%，補(bǔ)償室內(nèi)排風(fēng)和保持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量，保證室內(nèi)每人每小時(shí)的新鮮空氣量≥40m3/h。
送風(fēng)量大：為了滿足精密電子無塵凈化車間內(nèi)的潔凈度及熱濕平衡，需要較大的送風(fēng)量，例如300平方米的車間，吊頂高度為2.5米，如果是千級(jí)凈化無塵車間，送風(fēng)量就需要300×2.5×30=22500m3/h的送風(fēng)量(換氣次數(shù)，是≥25次/h)。
壓差：主車間對(duì)相鄰房間≥5Pa
換氣次數(shù)：百級(jí)：斷面風(fēng)速0.3-0.5m/s，千級(jí)潔凈車間50－52次/小時(shí)；萬級(jí)凈化車間15－25次/小時(shí)；十萬級(jí)無塵車間10－15次/小時(shí)。
壓差：主車間對(duì)相鄰房間≥5Pa。
溫度:冬季＞16℃±2℃；夏季 ＜26℃±2℃；溫度一般為23+2℃
相對(duì)濕度：45－65％（RH）。
噪聲≤65dB（A）。
新風(fēng)補(bǔ)充量：總送風(fēng)量的20％－30％。
照度：≥300Lux。
電子類產(chǎn)品更新?lián)Q代速度較快；以TFT-LCD(薄膜晶體管液晶顯示器)為代表的平板顯示器正在取代彩色顯像管顯示器；計(jì)算機(jī)、通信、消費(fèi)電子和汽車電子產(chǎn)品的迅速普及使得各種半導(dǎo)體元器件生產(chǎn)發(fā)展十分迅速。因此電子工廠無塵廠房的設(shè)計(jì)、建造必須適應(yīng)這種快速發(fā)展的需要。從無塵廠房的規(guī)劃開始，對(duì)于電子工廠無塵廠房的工藝設(shè)計(jì)、工藝布局應(yīng)充分考慮電子產(chǎn)品發(fā)展的靈活性，以滿足電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝改造和擴(kuò)大生產(chǎn)的需求。電子無塵廠房形式一般有隧道式、開放式、島形布置等。據(jù)調(diào)查表明，集成電路芯片制造用無塵室廠房的裝修工程一般采用隧道式和開放式，其中隧道式潔凈室主要用于5英寸、6英寸芯片制造廠，生產(chǎn)設(shè)備橫跨潔凈生產(chǎn)區(qū)和設(shè)備維護(hù)區(qū)，潔凈生產(chǎn)區(qū)對(duì)潔凈度要求嚴(yán)格，而設(shè)備維護(hù)區(qū)的空氣潔凈度等級(jí)相對(duì)較低。
精密電子無塵車間根據(jù)不同級(jí)別空氣潔凈度的空氣過濾器的選用、布置要點(diǎn)：對(duì)于三十萬級(jí)空氣凈化處理，可采用亞高效過濾器代替高效過濾器；空氣潔凈度百級(jí)、千級(jí)、萬級(jí)及十萬級(jí)的空氣凈化處理，應(yīng)采用初、中、高效三級(jí)過濾器；中效或高效空氣過濾器宜按小于或等于額定風(fēng)量選用；中效空氣過濾器宜集中設(shè)置在凈化空氣調(diào)節(jié)的正壓段；高效或亞高效空氣過濾器宜設(shè)置在凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的末端。
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