半導(dǎo)體潔凈室等級標準是根據(jù)標準209E制定的。根據(jù)該標準,潔凈室的等級可分為以下六個級別:
1. 等級1級:每立方英尺空氣中的顆粒不超過0.1。
2. 等級10級:每立方英尺空氣中的顆粒不超過1。
3. 等級100級:每立方英尺空氣中的顆粒不超過100。
4. 等級1,000級:每立方英尺空氣中的顆粒不超過1,000。
5. 等級10,000級:每立方英尺空氣中的顆粒不超過10,000。
6. 等級100,000級:每立方英尺空氣中的顆粒不超過100,000。
這些等級標準通常會根據(jù)具體的需求進行調(diào)整和修改,以確保其符合應(yīng)用的實際要求。例如,在制造高速運行的微處理器時,可能需要更高級別的潔凈室,以確保沒有對處理器造成影響的微小顆粒。上海納尚一家專門從事實驗室建設(shè)規(guī)劃的公司,公司集實驗室建設(shè)、設(shè)計及施工等服務(wù),致力于為用戶提供生各行業(yè)的潔凈、凈化、無塵工程。涵蓋了醫(yī)療衛(wèi)生、科院院校、食品化工、電子檢測、環(huán)境監(jiān)測等各種領(lǐng)域。
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